물질과 공정 조건만 입력하면,
공정 결과를 예측합니다.
멀티스케일 시뮬레이션 · SCI 논문 실험데이터 · 자체 장비 데이터 — 세 가지 독립 근거를 AI가 융합해 반도체·디스플레이 박막 공정의 두께·균일도·컨포멀리티·불량을 예측하고, 다음 실험 레시피까지 제안합니다.
3가지 근거를 AI가 융합해 공정을 예측합니다
멀티스케일 시뮬레이션 · SCI 논문 빅데이터 · 내 장비 데이터 — 세 독립 근거가 AI 예측 엔진으로 모여, 3차원 시각화와 정량 지표로 결과를 내놓습니다.
3가지 독립 근거
하나의 예측으로 종합
결과 산출
3가지 예측 엔진
버튼 하나로 전환하며 집중해서 비교할 수 있습니다.
멀티스케일 시뮬레이션
CFD · DFT · kMC · MD
반응기 스케일 유동·열부터 원자 스케일 반응 경로까지 — 물리 기반 규칙 모델이 공정 거동을 예측합니다.
SCI 논문 실험데이터
문헌 빅데이터 합의
수만 편 논문에서 추출한 실험 결과로, 입력 조건과 유사한 보고값의 합의 수준을 제시합니다.
내 장비 데이터
GP 학습 · 베이지안 최적화
업로드한 실험데이터로 내 장비에 보정된 전용 모델을 만들고, 다음 실험 레시피를 제안합니다.
핵심 기능
공정 예측
ALD·CVD·E-beam·Sputter·Etch·ALE — 물질·공정가스·조건으로 두께·균일도·컨포멀리티 예측
불량 예측
void·핀홀·거칠기·파티클·불순물·크랙 — 심각도와 개선점을 실시간 3D로 시각화
3D 시뮬레이션 뷰
TCAD 스타일 단면 — 트렌치/비아 충전, 식각 프로파일, CFD 온도장을 회전·줌으로 확인
베이지안 최적화
목표(두께·균일도)에 가장 빨리 도달하는 다음 레시피를 획득함수로 추천 — 실험 횟수 절감
3단계로 끝
공정·물질·가스 선택
공정과 박막 물질을 고르고, 원하는 공정가스를 선택합니다.
조건 입력
온도·압력·펄스·퍼지·사이클을 슬라이더로 조정합니다 (ⓘ로 배우면서).
예측 + 3D 확인
예측 엔진을 골라 3차원 시각화와 전문 해설로 결과를 이해합니다.